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提出了一种新型规模化高效低成本聚合物微型机械系统模内微组装成型加工技术，并针对其成型过程特点，建立了描述模内微组装成型过程成型热-流-固耦合变形机理的理论模型。通过有限元数值模拟，研究了模壁温度对模内微组装成型过程的影响规律。结果表明，模内微组装成型的微装配加工精度受控于热-流-固耦合压力场和不均匀温度场，且其热-流-固耦合变形随着模壁温度的升高而增大；减小模壁温度有利于提高其微装配加工精度。