高功率调制脉冲磁控溅射沉积TiAlSiN纳米复合涂层对钛合金基体抗氧化性能的影响研究

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fenghui111

【摘要】

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目的研究Ti6Al4V基TiAlSiN涂层在800℃下的抗循环氧化性能。方法采用高功率调制脉冲磁控溅射技术,通过调节N2/Ar的流量比fN2,在Ti6Al4V合金和Si(100)上沉积了一系列不同Si含

【作者】

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李玉阁朱小鹏吴彼雷明凯

【机构】

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大连理工大学材料科学与工程学院表面工程实验室

【出处】

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表面技术

【发表日期】

：

2020年12期

【关键词】

：

TiAlSiN纳米复合涂层高功率调制脉冲磁控溅射钛合金抗氧化 TiAlSiN nanocomposite coatingsmodulated pulsed

【基金项目】

：

国家重点研发计划项目资助(2018YFA0704603),国家自然科学基金(51601029,U1508218),中央高校基本科研业务费(DUT19JC52)

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目的研究Ti6Al4V基TiAlSiN涂层在800℃下的抗循环氧化性能。方法采用高功率调制脉冲磁控溅射技术,通过调节N2/Ar的流量比fN2,在Ti6Al4V合金和Si(100)上沉积了一系列不同Si含量的TiAlSiN涂层。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、电子探针、透射电镜和纳米压痕仪,表征了TiAlSiN涂层的成分、相组成、微结构和硬度,并通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜,进一步对Ti AlSiN涂层在800℃下循环氧化后的微观结构和形貌进行分析。结果脉冲平均功率为2k W时,fN2由10%增至30

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