【摘 要】
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为了提高硅微谐振式加速度计(SRA)零偏温度稳定度和标度因子的温度系数,提出了一种温度标定补偿方法.首先,根据应力与谐振频率关系建立了考虑温度效应的硅微谐振式加速度计的
【机 构】
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北京卫星制造厂有限公司,北京,100094;南京理工大学MEMS惯性技术研究中心,南京,210094
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为了提高硅微谐振式加速度计(SRA)零偏温度稳定度和标度因子的温度系数,提出了一种温度标定补偿方法.首先,根据应力与谐振频率关系建立了考虑温度效应的硅微谐振式加速度计的数学模型.然后,通过安装误差、温度效应的两级标定得到模型参数的极小范数最小二乘解,并且在标定中应用了热隔离层来提高标定精度.最后,应用所获得的标定参数建立了加速度计补偿系统,实时计算补偿后的加速度.实验结果表明,补偿后加速度计在5～35℃内的零偏温度稳定度从3.3×10-2下降到1.3×10-5,标度因子的温度系数从0.3 Hz/g/℃下降到6.7×10-3 Hz/g/℃,同时还表明该标定补偿方法可以降低由温度滞回效应带来的动态误差.
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