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采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺，在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量，用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明，动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。
动态混合注入与沉积法制备TiN膜层
【摘 要】
：
采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺，在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量，用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明，动态混合离子注入沉积工艺对提高膜
【机 构】
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北京航空制造工程研究所
【出 处】
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航空制造技术
【发表日期】
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2005年3期
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