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阐述了电磁MEMS技术在生物医学工程中的应用，包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振（NMR）及其他生物医学器械微型化改进等。介绍了电磁MEMS技术中的典型制作技术，展望了电磁MEMS技术的应用前景。
电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用
【摘 要】
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阐述了电磁MEMS技术在生物医学工程中的应用，包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振（NMR）及其他生物医学器械微型化改进等。介绍了电磁MEMS技术中的典型制作技
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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上海市AM基金（AM0303）,上海市纳米专项（0452NM038）
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