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研制了一种基于平板扫描器的新型原子力显微镜（AFM）系统。该系统创新地把二维平板扫描器和一维反馈控制器相结合，有效地克服了传统扫描器Z向反馈控制与Xy扫描平面之间的非线性交叉耦合误差，同时保证了大范围扫描时检测光路的稳定性。利用该系统与传统AFM作了氧化铝薄膜和光栅对比扫描实验，结果表明这种AFM系统能够获得无扭曲、规则的理想图像。