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介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构，以及一些重要功能模块的实现方法和特点。总结了一些精密半导体专用设备的开发经验，为设计和开发机电设备的控制系统提供一些思路和方法。
ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计与实现
【摘 要】
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介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构，以及一些重要功能模块的实现方法和特点。总结了一些精密半导体专用设备的开发经验，为设计和开发机电设备的控制系统
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年7期
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