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多晶硅生产过程中的硅渣浆处理
多晶硅生产过程中的硅渣浆处理
来源 :广东化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:changlang0p
【摘 要】
:
针对多晶硅生产TCS合成及冷氢化工艺中产生的副产物硅渣浆,结合污染物硅渣浆的主要成分,介绍了几种硅渣浆的无害化处理方法,包括水解法、干燥法、萃取法。
【作 者】
:
刘芳
李俊
谷双
【机 构】
:
广州华浩能源环保集团有限公司固废项目
【出 处】
:
广东化工
【发表日期】
:
2014年02期
【关键词】
:
多晶硅
三氯氢硅合成
冷氢化
硅渣浆
无害化处理
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针对多晶硅生产TCS合成及冷氢化工艺中产生的副产物硅渣浆,结合污染物硅渣浆的主要成分,介绍了几种硅渣浆的无害化处理方法,包括水解法、干燥法、萃取法。
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