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本文阐述了以PLC和触摸屏为核心的低功耗真空镀膜机自动控制系统。系统的分子泵单元节能90％以上,并介绍了该系统的软硬件结构,降低控制系统的功耗的方法,以及对靶单元实现闭环控制,控制电流的精度达0.5％,从而获得稳定的靶电流。
低功耗磁溅式真空镀膜机自动控制系统
【摘 要】
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本文阐述了以PLC和触摸屏为核心的低功耗真空镀膜机自动控制系统。系统的分子泵单元节能90％以上,并介绍了该系统的软硬件结构,降低控制系统的功耗的方法,以及对靶单元实现闭环
【机 构】
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南华大学电气工程学院
【出 处】
：
机电一体化
【发表日期】
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2003年04期
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