【摘 要】
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介绍了一种通过单层光学介电微球阵列对激光的调制来对微球表面的金膜进行加工的工艺方法，采用该方法可以高速率地对大面积微球阵列上的金膜进行微米量级分辨率的图案化加工。分析了介电微球阵列通过光学近场实现突破衍射极限的聚光，再结合软件模拟微球对光场的调控，讨论微球大小以及激光波长对加工精度的影响。通过不同加工工艺，分别研究了激光的波长、介电微球的大小、离子溅射镀膜厚度及激光照射的能量密度的工艺参数对加工出
【机 构】
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北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金（12074019）；
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介绍了一种通过单层光学介电微球阵列对激光的调制来对微球表面的金膜进行加工的工艺方法，采用该方法可以高速率地对大面积微球阵列上的金膜进行微米量级分辨率的图案化加工。分析了介电微球阵列通过光学近场实现突破衍射极限的聚光，再结合软件模拟微球对光场的调控，讨论微球大小以及激光波长对加工精度的影响。通过不同加工工艺，分别研究了激光的波长、介电微球的大小、离子溅射镀膜厚度及激光照射的能量密度的工艺参数对加工出的金微纳结构的影响，得到了最佳的加工工艺参数，在此工艺条件下能加工出约100 nm的金膜单孔洞结构。通过改变激光的入射角度，研究适合图案化加工的步进和线宽，最终加工简单图案的线宽达到280 nm。
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