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采用新的备件清洗和管理方式，降低offline和inline存在的particle和defect，提高产品lineyeild，并研究常压化学气相淀积（APCVD）设备系统存在稳定性差，均匀性差等特点，合理使用设备和备件，增加设备保养周期内的出片率，降低产品缺陷和设备维护成本的方法，并解决产能瓶颈的问题。