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以内嵌于聚合物呈非紧密接触堆积的SiO2微球阵列为模板，经HF蚀除表层SiO2微球后再经金属物理覆镀，得到81 cm^2/片的球凹阵列SERS基底。以苯硫酚为探针，所得阵列的SERS效应显著（ EF高达108量级），并且重现性良好（ EF的RSD〈8%）；将SiO2与聚合物的体积比（ RS-P ）在20%-42%范围内改变，基底表面球凹均可保持六边形周期性排布，球凹的排布密度（Γ）在4．65×10^8个/cm^2-6．92×10^8个/cm^2范围内相应改变。