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综述了化学机械抛光技术的发展现状.介绍了化学机械抛光系统的组成及工作原理,着重阐述介绍了系统各部分的构成及作用,并对化学机械抛光未来的发展趋势作了展望.
化学机械抛光技术研究现状及发展趋势
【摘 要】
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综述了化学机械抛光技术的发展现状.介绍了化学机械抛光系统的组成及工作原理,着重阐述介绍了系统各部分的构成及作用,并对化学机械抛光未来的发展趋势作了展望.
【机 构】
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广州汇富研究院有限公司,广东 广州,510663;湖北汇富纳米材料股份有限公司,湖北 宜昌,443007
【出 处】
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材料研究与应用
【发表日期】
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2021年4期
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