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微机电系统(MEMS)是目前国际上正在发展的新兴学科,超微型电动机是微机电系统中的关键器件,对其实用化技术的研究具有非常重要的意义.文中介绍了其在微小型侦察设备中应用的关键技术.利用AT89C51单片机实现将细分驱动控制技术应用于实时跟踪系统中的直流无刷电机控制,提高了控制精度,对控制系统的硬件和软件进行了详细介绍.研制的系统达到了预期的目标.