【摘 要】
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针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器.该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连接层和下部支撑层等多层结构构成,其中上部
【机 构】
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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学微纳电子学系,上海200240
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针对流速传感器的高分辨率需求,提出了一种基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器.该传感器由纤毛、电极层、上部结构层、中间连接层和下部支撑层等多层结构构成,其中上部结构层一方面采用不对称梳齿结构实现差分电容检测,另一方面布置周期性调制梳齿实现系统势能函数呈现双稳态.通过流体-固体力学-静电多物理场耦合分析,得到电容随流速的变化关系,分辨率优于0.001 m/s,另外通过调制梳齿的静电场分析,绘制出系统势能函数曲线.最后,基于MEMS加工技术,通过设计合理的工艺流程制备出了该传感器.
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