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随着集成电路行业的发展趋于成熟,同时兼具高集成度和高性能成为新型微纳器件的设计要求, 基于此研究一款新型Saddle 无结场效应晶体管, 其沟道宽度只有 5nm, 从其在不同温度环境下的工作性能入手, 并运用量子仿真法验证仿真结果的准确性.通过对比相同集成度条件下 Fin原FET和 Saddle 无结场效应晶体管在不同温度下的工作特性, 并完成量子仿真验证, 得到在高集成度的极限尺寸下新型 Saddle 无结场效应晶体管在性能方面所具备的优势以及在不同温度下其电学特性的稳定性.新型Saddle器件性能的可