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根据近年来的实践，介绍了亚微米/深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法。包括：先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的电测试技术和故障定位技术及其简化方法。通过一些失效分析实例说明了研究上述关键技术的有效性。
VLSI失效分析技术研究进展
【摘 要】
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根据近年来的实践，介绍了亚微米/深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法。包括：先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所可靠性研究分析中心
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2005年B12期
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