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微机械陀螺振动特性的等效电学模拟
微机械陀螺振动特性的等效电学模拟
来源 :电子与信息学报 | 被引量 : 5次 | 上传用户:yanshileia001
【摘 要】
:
根据微机械陀螺的动力学方程建立其振动特性的等效电路模型,该模型用电路模拟工具PSPICE实现。利用这个电路模型,可以分析陀螺的振动特性,包括检测振动的瞬态响应和稳态响应,检测振动对输入角速度的频率响应特性,从而可以获得陀螺工作的优化条件;并为传感器与接口电路的整体模拟打下基础。
【作 者】
:
车录锋
熊斌
黄小振
王跃林
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
:
电子与信息学报
【发表日期】
:
2003年02期
【关键词】
:
微机械陀螺
振动特性
等铲电路模型
模拟
Micromachined gyroscope
Equivalent circuit model
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根据微机械陀螺的动力学方程建立其振动特性的等效电路模型,该模型用电路模拟工具PSPICE实现。利用这个电路模型,可以分析陀螺的振动特性,包括检测振动的瞬态响应和稳态响应,检测振动对输入角速度的频率响应特性,从而可以获得陀螺工作的优化条件;并为传感器与接口电路的整体模拟打下基础。
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