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以硝酸铋、硝酸铁以及硝酸镝等无机硝酸盐为原料通过化学液相法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si上制备了Dy抖掺杂的BiFeO3薄膜,研究了Dy^3+掺杂量的变化对Bi1-xDyxFeO3薄膜的晶体结构和磁性的影响。Dy^3+掺杂量不高于10%的Bi1-xDyxFeO3薄膜可以得到与纯BiFeO3相同的晶体结构。随着Dy^3+掺杂量的进一步增大,Bi1-xDyxFeO3薄膜的晶体结构发生变化,晶格从菱心结构转变为单斜或四方结构。磁性测试显示:随着Dy^3+掺杂量的增加Bi1-xDyxFeO3薄膜的磁性增强