论文部分内容阅读
本文简述了气体过滤机理,并提供了有关收集效率和目前在半导体加工中通常使用的几种气体过滤介质的清洁度的数据。
高纯气体过滤
【摘 要】
：
本文简述了气体过滤机理,并提供了有关收集效率和目前在半导体加工中通常使用的几种气体过滤介质的清洁度的数据。
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
1991年3期
其他文献
以不到千分之一的土地面积贡献全国近1/10的财政总收入，单位GDP能耗从2010年的0.72吨标准煤/万元下降到2018年的0.38吨标准煤/万元……近日，多家中央媒体以“先行先试，打好创新
报纸
根据二维三轴编织复合材料中碳纤维束和玻璃纤维束的空间几何特征,建立了碳纤维/玻璃纤维混编复合材料刚度预报模型;基于Tsai-Wu准则建立了该二维三轴编织复合材料的强度预报