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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积（EA-CVD）方法沉积大面积金刚石膜，在金刚石膜的沉积过程中，偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
偏流对金刚石膜生长的影响
【摘 要】
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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积（EA-CVD）方法沉积大面积金刚石膜，在金刚石膜的沉积过程中，偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金
【机 构】
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长春大学理学院,长春大学特殊教育学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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吉林省科技厅资助项目,低成本高能量密度锂离子电池正极材料的研制,合同编号：10647104吉教科合字[2005]第85号
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