论文部分内容阅读
介绍了一种基于原子力显微镜（AFM）的微注射量检测的新方法,设计聚酯悬臂感应结构,利用原子力显微镜具有纳米级高度分辨率的特点,对聚酯悬臂在注射微滴重力作用产生的挠度进行检测,达到微滴量检测的目的。通过改进检测装置隔震系统的阻尼器结构,抑制影响微滴检测过程的低频扰动因素。最后对30pl内的微注射量进行检测试验。