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微型机械制造和装配是微型机械发展的关键。本文介绍了微型涡轮和微型齿轮泵的原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时也说明了二者的应用前景
微型涡轮和微型齿轮泵的研制
【摘 要】
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微型机械制造和装配是微型机械发展的关键。本文介绍了微型涡轮和微型齿轮泵的原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度
【机 构】
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西安交通大学精密技术教研室
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1997年06期
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