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薄膜表面缺陷密度统计是改进薄膜表面质量的重要依据。阐述了基于遗传算法的二维最大熵分割算法的原理及实现步骤。采用这种算法对薄膜缺陷图像进行分割，对分割后的图像进行了薄膜缺陷密度的测量。实验结果表明，这种方法对薄膜表面缺陷提取简单且易于测量，为分析缺陷原因提高薄膜质量起到重要的指导作用。
显微图像的光学薄膜缺陷密度统计
【摘 要】
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薄膜表面缺陷密度统计是改进薄膜表面质量的重要依据。阐述了基于遗传算法的二维最大熵分割算法的原理及实现步骤。采用这种算法对薄膜缺陷图像进行分割，对分割后的图像进行了
【机 构】
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四川大学电子信息学院,西南技术物理研究所,西南科技大学信息工程学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2006年4期
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