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以半导体厂芯片生产车间洁净室温度控制系统为应用背景,给出了预估式变参数PID控制算法.这种实用新算法的调节时间接近于Smith补偿算法,但在被控对象的数学模型不精确时,仍有较好的控制效果.
预估式变参数PID控制算法的研究
【摘 要】
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以半导体厂芯片生产车间洁净室温度控制系统为应用背景,给出了预估式变参数PID控制算法.这种实用新算法的调节时间接近于Smith补偿算法,但在被控对象的数学模型不精确时,仍有
【机 构】
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福州大学电气工程与自动化学院,现为清华大学研究生
【出 处】
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福州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年6期
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