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对行波型超声波电动机采用的柔性转子结构形式进行了研究,利用三维建模软件Solidworks对一种结构形式的柔性转子进行了建模,并利用其自带的有限元分析软件COSMOSWorks对转子做了静态载荷仿真分析,得到了在一定预压力下柔性转子的最小安全系数、静态位移和应力分布图。实验结果表明：仿真结果对转子的设计和生产装配有重要的参考价值。