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以非硅表面微加工技术为基础，在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统（Micro clectro—mechanical system，MEMS）惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极（质量块）悬空固定，用挡块作为反向冲击保护，其敏感方向为平行于衬底面的水平方向，整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对弹簧-质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真，研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系，并用落锤试验对封装器件的阈值加速度以及峰值为10g（Cg=9．