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一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的光生酸性质研究
一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的光生酸性质研究
来源 :感光科学与光化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:QQPIG
【摘 要】
:
通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质,发现该化合物在紫外光照射下可生酸,是一种光生酸剂.由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性能,因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很
【作 者】
:
黄蕾
宾月景
黄新
张复实
【机 构】
:
清华大学化学系有机光电子与分子工程教育部重点实验室
【出 处】
:
感光科学与光化学
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
化学增幅抗蚀剂
光生酸剂
光催化
酞菁
chemical amplification photoacid generator photo-catalysis p
【基金项目】
:
国家自然科学基金(20333080,20572059,20502013),国家基础研究项目(2007CB808000).
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通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质,发现该化合物在紫外光照射下可生酸,是一种光生酸剂.由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性能,因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很好的应用潜能.
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