【摘 要】
：
提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回转体结构。在各向同性腐蚀过程中,由各向异
【机 构】
：
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
论文部分内容阅读
提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回转体结构。在各向同性腐蚀过程中,由各向异性刻蚀得到的多面体结构的表面垂直腐蚀速率与刻蚀液浓度呈指数关系,而搅拌使得多面体结构表面峰值与谷底的刻蚀液存在流速差,基于此原理可得到光滑的三维曲面。刻蚀过程中,通过各向异性湿法腐蚀控制结构深度,通过各向同性湿法腐蚀＂抛光＂结构曲面。最后,采用实验优化湿法腐蚀过程的工艺参数,基于直径为600～1 000μm的圆形掩模板,在硅材料表面制备得到了高度
其他文献
针对已开发的精密直线气浮工作台，设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小，抗干扰能力差等问题。设计的阻尼器由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼
文化身份与民族心理是一个民族的整体性和根本性特征,对于理解和研究一个民族的历史及文化具有重要价值。本文以傣族著名英雄史诗《兰嘎西贺》对印度经典神话《罗摩衍那》的
针对传统复原算法在低信噪比情况下复原结果感知效果差的问题,提出了一种基于视觉对比敏感度与恰可察觉失真感知的图像复原方法。首先,利用离散余弦变换(DCT)分解图像,将图像编码为不同尺度下的一系列子带,利用概率和模型及DCT感知模型计算每条子带的恰可察觉失真阈值,并采用明可夫斯基距离计算失真度量;然后,对于每个尺度下的每条子带,利用一个迭代的两断对分程序来调整每个尺度下的每条子带的通道权重,直至子带的
为了快速准确地联合估计阵列信号波达方向（DOA）与多普勒频率,提出了将序列二次规划（SQP）应用于最大似然函数优化的联合谱估计算法。该方法利用空时信号模型通过Hankel矩阵构造出
为了在月球上完成天文观测任务,对月基反射镜二维跟踪转台进行了热力学分析及结构设计。采用航天轻量化法设计反射镜的二维转动机构以减少载荷重量;采用外转子机构实现垂直轴
<正> 我国傣族神话叙事长诗《兰嘎西贺》与印度著名史诗《罗摩衍那》(以下《兰嘎西贺》简称《兰》诗,《罗摩衍那》简称《罗》诗)的关系,早已议论纷坛。有的认为《兰》诗是从
中国教育学会顾问吕型伟在《素质教育观念学习提要》中提出“教育是事业，事业的意义在于奉献；教育是科学，科学的价值在于求真；教育是艺术，艺术的生命在于创新。”“创新是一个民族
报道了以超低温膨胀石墨作为锂离子电池负极材料的研究。采用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)以及氮气吸脱附测试(BET)对其物相、表面形貌及结构进行表征;利用恒电