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利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器，传感器矫顽力低于0．01Oe，具有良好的线性，电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关，随着条宽减小，传感器器的线性范围增加而灵敏度降低，实验和理论计算的结果一致．
基于自旋阀的GMR线性传感器的制作
【摘 要】
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利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器，传感器矫顽力低于0．01Oe，具有良好的线性，电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关，随着条宽减小，传感器器的线性范围增加而灵敏
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05B期
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