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电感元件在微波多芯片组件（MCM）设计中具有重要地位，其基于参数提取的宏模型是系统仿真的关键。介绍了修正π平面螺旋电感高频等效电路模型及模型参数提取的方法，通过实测数据分析了在不同线宽、不同间距、不同圈数情况下的电感有效值及Q值。研究结果对低温共烧陶瓷（LTCC）平面螺旋电感的应用具有指导意义。