论文部分内容阅读
化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一的可以提供在整个圆硅晶片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。重点叙述了CMP技术背景、设备、抛光原理、发展现状、存在的问题以及未来的发展趋势。
用于超精密硅晶片表面的化学机械抛光(CMP)技术研究
【摘 要】
：
化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一的可以提供在整个圆硅晶片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。重点叙述了CMP技术背景、设备、抛光原理、发展
【机 构】
：
北京丁业大学材料科学与工程学院
【出 处】
：
润滑与密封
【发表日期】
：
2006年09期
其他文献
"媒介融合"既是一个具有深刻技术内涵的必然趋势,又是一条承载市场期望的改革路径,成为我国传统媒体改革过程中备受瞩目与争论的热点话题。本文从我国媒体融合的具体实践模式
本文结合笔者多年电气工程实践,详细分析阐述了电气设计过程中存在的诸多质量问题,并从加强图纸会审、施工过程中的质量管理和安全管理等方面深入探讨了建筑电气工程实施过程
对苏云金杆菌Bt02进行发酵条件的优化研究，通过碳源和氮源单因素试验及正交试验，选出最佳碳、氮源及配比，对pH值、发酵温度和转速进行了研究，结果表明，碳源选用麦芽糊精，氮源选择脱
美国1953年制定的《小企业法》是美国小企业法律体系的基础,2016年该法进行了大规模的修订,在立法目的、立法调控方向、调控手段等方面都发生了巨大的变化。新法在继续重视反
5月28日下午李克强总理的记者会相信很多做投资的小伙伴们都看了,克强总理披露的一个数据相信大家都很震惊吧,那就是有6亿人的月收入低于1000元,但这就是现实的中国。在一二
本文选取广州某所高职院校作为研究对象,调查分析了目前学生性观念、性行为以及性教育现状;对学校忽略性教育、学生不重视性教育、学生性法律意识缺失等现状的形成原因进行了
互联网教育是未来教育的重要形态,是教育变革的重要推动力量。随着互联网技术及其应用的快速发展,互联网教育呈现出新的特点,也凸显出新的问题,这都迫切要求我国进一步加强和