论文部分内容阅读
本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理,并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用。
基于MEMS技术的热式质量流量传感器
【摘 要】
：
本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理,并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用。
【机 构】
：
杭州中矽微电子机械技术有限公司310013
【出 处】
：
国外电子测量技术
【发表日期】
：
2005年01期
其他文献