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为满足高精度微纳定位需求,设计了一种基于压电驱动的三自由度角位移微动平台,并测试与优化了其性能。
一种压电驱动的角位移微动平台设计与优化
【摘 要】
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为满足高精度微纳定位需求,设计了一种基于压电驱动的三自由度角位移微动平台,并测试与优化了其性能。
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2021年17期
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