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本文介绍了一套超大规模集成电路 (VLSI)用 1 0m3/h超纯水系统的设计要点。经实际运行 ,性能稳定、操作简单、自动化程度高 ,有很好的示范作用。
超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计
【摘 要】
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本文介绍了一套超大规模集成电路 (VLSI)用 1 0m3/h超纯水系统的设计要点。经实际运行 ,性能稳定、操作简单、自动化程度高 ,有很好的示范作用。
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
实验技术与管理
【发表日期】
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2003年06期
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