石英管内表面镀膜方法的研究

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给出了在石英玻璃管内表面上镀膜的一种方法,并对镀膜工艺参数和影响膜质量的一些因素进行了讨论。 A method of coating on the inner surface of a quartz glass tube is given, and the parameters of the coating process and some factors that affect the quality of the film are discussed.
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