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用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜.利用X射线衍射,X射线光电子谱,原子力显微镜,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试.结果表明,沉积薄膜的电阻温度系数大于1.8%/℃,方块电阻为22±5kΩ/□.
微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究
【摘 要】
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用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜.利用X射线衍射,X射线光电子谱,原子力显微镜,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试.结果表
【机 构】
：
兰州大学物理科学技术学院,兰州物理所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2003年6期
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