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主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中，工艺设备尾气除害用的废气处理装置LocalScrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。
高科技制造业工艺设备用废气处理装置
【摘 要】
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主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中，工艺设备尾气除害用的废气处理装置LocalScrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处
【机 构】
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华东理工大学商学院,上海华虹NEC电子有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2013年3期
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