Al2O3陶瓷基片的制备与研究

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Al2O3陶瓷常用的成型工艺有:流延成型、轧膜成型、注浆成型、凝胶注模成型等。其中凝胶注模成型具有设备简单、成型坯体组分均匀、不易变形、实用性强等优点,因此受到极大关注。本文以高纯的α-Al2O3为主要原料,以烧滑石、碳酸钙、高岭土的形式向其中加入MgO、CaO、SiO2等烧结助剂,采用凝胶注模工艺制备96Al2O3陶瓷基片。配制固含量高且稳定性能好的Al2O3基料浆是用该工艺生产Al2O3陶瓷基片的前提和关键环节。本文主要研究了pH值、分散剂、球磨时间分别对料浆悬浮性和稳定性的影响,包括Al2O3粉体ζ电位的测定、料浆沉降试验及粘度试验。ζ电位测定结果表明,分散剂显著的改变了粉体的ζ电位,IEP点由8.2降至5左右,含有分散剂且pH值在8~9左右时,粉体ζ电位的绝对值较大。沉降试验表明,在碱性范围内沉降百分数较小,料浆较稳定,分散剂含量存在最佳值为0.4%。粘度试验表明,当pH值在8~9左右、分散剂含量为0.4%、球磨24 h时,粘度值均为最小值,此时料浆的流动性能最好。按上述条件制备出Al2O3固含量为45vol%的Al2O3基料浆,经注模、凝胶、干燥得到素坯,在1530℃时烧结得到密度达3.7g/cm3,吸水率为0%的致密烧结体。其力学性能优良,显微硬度达1.49GPa,抗折强度达300.78MPa。并对材料的致密化过程进行了研究。利用SEM、热膨胀仪等仪器研究了96氧化铝陶瓷的显微结构、热学性能、电学性能、光学性能等。显微结构分析结果表明烧结体的晶粒均匀、排列整齐,气孔率较小。烧结体试样的平均热膨胀系数在20~1000℃时为8.34×10-6K-1。热扩散率在20~1000℃之间为0.0668~0.0154cm2/s,随着温度的升高而降低。电绝缘性能优良,体积电阻率在22~500℃时为6×1015~2×1010Ω·cm,电阻率随着温度的升高而降低。在测试频率范围内(1kHz~1MHz),介电常数低(9.4,9.3),介质损耗为2.2×10-3~5.4×10-3。介电常数随频率的升高而降低,之后保持不变。介质损耗随频率的升高,先减小,之后又增大。
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