【摘 要】
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当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究
【机 构】
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北京大学软件与微电子学院,宜特（上海）检测技术有限公司,宜特科技股份有限公司
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当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度,分析纳米结构元件氮化铟镓多层量子阱在不同试片厚度中铟（In）浓度的变化,借以探讨固态稀释问题。借助STEM仪器操作参数的调整,降低电子束扩展效应,EDS线扫描测得的铟浓度可以提升一倍左右。
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