论文部分内容阅读
采用DVD光碟机的激光读取头，开发出微器件表面3D形貌的新型微／纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理，当反射面不在聚焦位置时，经四象限传感器探测聚焦误差信号（FES），驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置，完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究，应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差，进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测景范围的标准差与重复性进行校正测量，由校正的结果分析，此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微／纳米测量。