洁净室自控系统设计的简要分析

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随着洁净室的推广普及,洁净室内也逐渐引进了自动化系统。本文主要介绍了新风机组、洁净区干盘管的控制,空调水系统的控制,洁净室制冷主机、水泵、热交换器的控制等几个方面的自动控制系统,希望能为洁净室自控系统的设计提供参考。
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