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采用料浆法制备MoSi2涂层，研究了料浆中Si与MoSi2粉末的配比、包渗时间、NaF含量对制备涂层的影响。结果表明：在Mo表面形成了两层硅化物层，其中外层是MoSi2，内层是硅化物Mo5Si3；Si主要参与在Mo的表面上硅化物层的形成，MoSi2也能少量参与形成涂层；NaF则起到Si的活化剂作用，没有NaF无法形成硅化物层，但其加入量增多对涂层的厚度影响并不大；随着包渗时间的延长，内外两层硅化物厚度都增加，但外层厚度增加较大。