基于毛细管力作用下的非晶聚合物微纳米结构热压流动模拟

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研究了微纳米热压印过程中,毛细管力对非晶体聚合物在高深宽比模腔中充模的影响。应用润滑近似理论,建立了基于毛细管力作用下,聚合物在微纳米孔中的非等温Hele—Shaw可压缩流动模型。采用有限元/有限差分方法求解所建立的热压印控制方程,并对分析结果进行了实验验证。数值模拟和实验结果吻合,表明毛细管力对聚合物流体在纳米级模腔充模中不可忽略;此外,所提出的模型也可以为微纳米压印成型优化中参数的确定提供有力依据。
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