激光软X-射线近贴显微技术初步研究

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:BENLAOQIAN
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描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软X-射线源而进行的近贴显微研究,并得到了分辨率好于1μm的结果. The near-surface microscopy study of plasma generated by high power pulsed laser targeting as a soft X-ray source was described and results were obtained with a resolution better than 1 μm.
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