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介绍了相位恢复测量系统的软硬件实现原理。构建了由CCD移动平台等硬件装置和基于GS迭代算法的软件程序组成的实验平台。并对一面口径500mm的球面反射镜进行了在位加工环境下的测量实验。测试结果与干涉测量相比较表明测量数据准确,精度满足光学镜面研抛加工要求。
基于衍射图像的大型光学镜面在位检测
【摘 要】
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介绍了相位恢复测量系统的软硬件实现原理。构建了由CCD移动平台等硬件装置和基于GS迭代算法的软件程序组成的实验平台。并对一面口径500mm的球面反射镜进行了在位加工环境下的测量实验。测试结果与干涉测量相比较表明测量数据准确,精度满足光学镜面研抛加工要求。
【机 构】
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国防科技大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2007年05期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划);
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