侵彻姿态测量中MEMS陀螺仪结构仿真与冲击实验

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuchenyk

【摘要】

：

弹体在高速侵彻过程中的姿态偏转是影响其效能的重要因素,利用微电子机械系统(MEMS)陀螺仪进行姿态测量是监测弹体姿态变化的主要手段。针对侵彻弹体姿态测量对MEMS陀螺仪提出的抗高过载要求,采用结构仿真和冲击实验的方法对国产MEMS陀螺仪进行了抗高过载研究。在结构仿真中,利用ANSYS有限元软件对MEMS陀螺仪敏感结构进行了静力学仿真和冲击仿真。仿真结果表明,MEMS陀螺仪能够承受峰值15 000g

【作者】

：

青泽牟东廉璞刘军周铭

【机构】

：

中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621000;中国兵器工业集团第二一四研究所,江苏苏州 215000

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2021年09期

【关键词】

：

微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪侵彻姿态测量抗高过载

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