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在过去的几年中,ASML公司以创新的浸没式技术引领着光刻设备市场,又一次刷新了半导体制造的路线图.通过对浸没式光刻技术的再现和提升,ASML公司为芯片制造商开创了一个满足更小设计尺寸要求的生产芯片的新局面
以浸没式技术引领光刻设备市场
【摘 要】
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在过去的几年中,ASML公司以创新的浸没式技术引领着光刻设备市场,又一次刷新了半导体制造的路线图.通过对浸没式光刻技术的再现和提升,ASML公司为芯片制造商开创了一个满足更
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年期
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