一种基于0.5μm CMOS工艺圆片级可靠性评估方法*

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论文提出了0.5μm CMOS工艺圆片级可靠性(WLR)评估的方法,为工艺、电路可靠性提高和及时在线控制开拓了新思路。论文针对0.5μm工艺中金属电迁移以及器件热载流子等失效项,分别给出了相关内容的工艺物理机理、测试结构、测试方法和结果。测试得出单一电迁移失效、热载流子失效寿命可以达到1×109数量级(几十年),初步实现了工艺可靠性的在线监控。 The paper presents a method of wafer level reliability (WLR) evaluation in 0.5μm CMOS process, which opens up new ideas for process and circuit reliability improvement and on-line control in time. In this paper, the process physical mechanism, test structure, test methods and results of the related content are given respectively for the electromigration of metal and hot carriers in the device. Test results show that single electromigration failure, hot carrier failure life can reach 1 × 109 orders of magnitude (several decades), the initial realization of the process reliability of online monitoring.
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【摘要】 目的 探讨中西医结合治疗贝尔面瘫的临床疗效。方法 118例患者确诊后随机分为两组。对照组50例,采用西医综合治疗;治疗组68例,在西医治疗基础上,用方药牵正散加减,配合穴位注射,鳝血疗法[1]。结果 对照组治疗后总有效率94%,痊愈率32%,治疗组治疗后总有效率98.5%,痊愈率61.8%。两组患者治疗后比较有明显差异(P0.05),具有可比性。  2 治疗方法  2.1 对照组 采用西
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