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要实现平面工作台的精密定位,需要对其运动进行检测,并设计相应的控制方案.为同步检测平面工作台三自由度位移,研制了图像处理位移检测系统.以CCD相机为核心结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统.系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响.检测系统既有较高的位移分辨率,又有一定的位移检测范围.使用图像处理位移检测系统,对清华大学制造的平面精密工作台的运动性能进行了测试.工作台干涉运动均小于主运动,通过合理的开环控制对各个运动方向上的干涉运动进行补偿,获得了工作台在平面任意方向上的运动.工作台小范围定位能力